Турбомолекулярный насос представляет собой вакуумный насос, внешне похожий на турбонасос, используемый для получения и поддержания высокого вакуума.
Эти насосы работают по принципу, что молекулам газа можно дать импульс в нужном направлении путем повторного столкновения с движущейся твердой поверхностью. В турбомолекулярном насосе быстро вращающийся ротор вентилятора «ударяет» из молекул газа от входа насоса к выхлопу, чтобы создать или поддерживать вакуум , есть некий водокольцевой вакуумный насос который также активно используется.
Большинство турбомолекулярных насосов используют несколько ступеней, каждая из которых состоит из быстро вращающейся лопасти ротора и неподвижной пары лопастей статора. Система работает как компрессор, который подает энергию в газ, а не вынимает его. Газ захвачен верхние ступени проталкиваются в нижние стадии и последовательно сжимает до уровня форвакуумного (форвакуума) давления. Когда молекулы газа проникают через вход, ротор, имеющий несколько угловых лопастей, попадает в молекулы. Таким образом, механическая энергия лопаток передается молекулам газа. С этим вновь приобретенным импульсом молекулы газа входят в отверстия для переноса газа в статоре. Это приводит их к следующему этапу, где они снова сталкиваются с поверхностью ротора, и этот процесс продолжается, и, наконец, приводит их наружу через выхлоп.
Из-за относительного движения ротора и статора молекулы преимущественно попадают на нижнюю сторону лопастей. Поскольку поверхность лезвия опустилась вниз, большая часть рассеянных молекул оставит ее вниз. Поверхность грубая, поэтому никакого отражения не будет. Лезвие должно быть толстым и устойчивым для работы под высоким давлением и максимально тонким и слегка согнутым для максимального сжатия. Для высоких коэффициентов сжатия горловина между соседними лопастями ротора (как показано на изображении) указывает как можно больше в прямом направлении. При высоких расходах лопасти находятся на 45 ° и достигают близких к оси.